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解决方案
ESD无尘室解决方案

室内电离系统设计用于半导体晶圆工艺、平板显示、制药和其他清洁环境中。离子输出电流大,放电时间快。室内电离系统适用于各种环境,如工艺间、舞厅或其他大型空间。脉冲直流电离子化可以有效地降低用户想要中和的材料上的电荷水平,防止颗粒物在洁净室环境中的吸引力。

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